従來の問題

エッジ汚染回収技術(shù)

• 基本は水平になっているウェーハを垂直に立てる。
• 回転させながらエッジだけを液に侵漬するので、難しい。

當(dāng)社製品の特長による解決方法

表面張力を利用したエッジ回収治具

• 側(cè)面スリットからわずかにはみ出した液にエッジ部を接觸。
• 表面張力により液が丸まるため、液は流れ出ることがありません。

エッジ回収の実際

• エッジ部だけを液に接觸させながらウェーハを回転。
• 位置を調(diào)整することで表裏面に液が回り込まないように設(shè)定可能です。（特許取得）